X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：

 

（1）X射線系統(tǒng)（X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元）；

（2）水循環(huán)冷卻系統(tǒng)（內(nèi)外部冷卻水單元、溫度、電導(dǎo)率控制監(jiān)測單元）；

（3）真空系統(tǒng)（真空泵、樣品室）；

（4）檢測系統(tǒng)（光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測角儀、晶體交換器等）；

（5）檢測記錄系統(tǒng)（流<充>氣正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器、脈沖高度分析器等）；

（6）數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

X射線熒光光譜儀基本原理：

 

X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。 

用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。